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在進(jìn)行掃描電鏡（SEM）分析時(shí)，為了獲得感興趣區(qū)域*的圖像效果，必須考慮一些重要的參數(shù)。其中一個(gè)很重要的參數(shù)就是加速電壓，它是加在電子槍的陰極和陽(yáng)極之間，用來(lái)加速電子產(chǎn)生電子束的。加速電壓的選擇與樣品的導(dǎo)電性、放大倍數(shù)及圖片質(zhì)量等因素有關(guān)。一般來(lái)說(shuō)，加速電壓越高，圖像的分辨率越高。

在zui近幾年，掃描電鏡（SEM）廠(chǎng)商已經(jīng)開(kāi)始致力提高低電壓成像的分辨率。低電壓成像技術(shù)主要應(yīng)用于生命科學(xué)領(lǐng)域，特別是在獲得諾貝爾獎(jiǎng)的冷凍電鏡技術(shù)問(wèn)世之后。這篇博客將集中討論加速電壓對(duì)分析圖像的影響。

加速電壓決定作用區(qū)域的大小

加速電壓是電子能量的象征，它決定了電子束與樣品之間的相互區(qū)大小。一般情況下，加速電壓越高，電子束在樣品表面穿透越深，作用區(qū)也就越大。

這意味著電子將在樣品中更深入地傳播，并在不同區(qū)域中產(chǎn)生信號(hào)。樣品的化學(xué)成分也會(huì)對(duì)作用區(qū)的大小產(chǎn)生影響：輕元素的核外電子層數(shù)較少，電子能量較低，這限制了其對(duì)入射電子的影響。因此與重元素的樣品相比，電子束對(duì)于輕元素樣品的穿透更深。

對(duì)輸出信號(hào)進(jìn)行分析時(shí)，可以得到不同的結(jié)果。在臺(tái)式掃描電鏡中，通常檢測(cè)到三種信號(hào)：背散射電子（BSE）、二次電子（SE）和X射線(xiàn)。